Thea SP10 是澈芯科技Purechip Tec. 最新一代的无图形晶圆颗粒度检测系统，可用于Si、SiC、GaAs、蓝宝石等多种晶圆的缺陷检测。Thea SP10通过多种激光器结合多通道探测系统，能够准确快速地检测晶圆表面缺陷，评估表面质量问题，从而能够更高效地识别工艺和设备问题，提高良率；
设备亮点
1.自动化程度高
2.明暗场多通道检测
3.多种模式适配不同场景
4.适配150-300mm不同规格晶圆
5.灵活可配置的模块化设计
设备优势：
Thea SP10表面缺陷检测系统旨在实时捕获裸晶圆、薄膜和堆叠、光刻胶和光刻堆叠上的颗粒、划痕等关键缺陷并分类。高灵敏度模式能够提供小至40 nm 的灵敏度，
通量模式可用于大批量生产过程。明暗场照明模式结合多通道检测，可以捕获不同类型缺陷。
SURFimage能够识别晶圆表面粗糙度变化等宏观异常。灵活可配置的模块化设计，可满足不同的检测需求。Thea SP10系统能够同时满足工艺研发以及完整制造环境
中关键设备的监测需求。
